剪切干涉技术与显微干涉技术

发布时间:2018-01-11 11:24:20 文章分类： 点击数：

剪切干涉技术与显微干涉技术

 

由于显示重建计算法，由相位差分得到的粗糙度轮廓

，粗糙度测量的结果，比较粗糙度样板称值则显示比

较好的测量精度。

 

结合剪切干涉技术与显微干涉技术提出了一种新的非

接触表面粗糙度测量的方法。

 

由于干涉与非接触表面粗糙度轮廓测量的方法，和共

路偏振干涉的特点，以及新型的剪切发生器的采用。

 

建干涉仪器工具有较好的抗环境干涉和振动的能力，

同时能够取得一般显微干涉仪的表面粗糙度测量精度。